v 应用：用于半导体材料内部含量检测,同质外延厚度测量和其他应用，用于的半导体工厂，在硅生长和器件制造领域进行材料表征

v 光谱范围：远红外、中红外、近红外、可见光

v 信噪比：>55000:1

v 光谱分辨率（cm-1）：<0.09电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm