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深紫外荧光系统主要技术指标
典型参数
荧光寿命检测波长 | 220-600 nm |
荧光光谱检测波长 | 200-1000 nm |
时间分辨率 | ≤20 ps |
空间分辨率 | ≤1 μs |
成像功能 | 荧光强度或光谱成像/荧光寿命成像/深紫外成像 |
成像范围 | 可定制 |
激发波长 | 206 nm/257 nm/343 nm/515 nm |
拓展功能 | |
拓展模块 | 拉曼、SHG、光电流等成像模块 |
外场调控 | 支持拓展低温、高压、磁场等外场条件 |
深紫外荧光系统应用实例
晶圆位错缺陷光学无损识别
实验条件
样品名称 | SiC外延片 | 激发光波长 | 390 nm |
大连创锐光谱科技有限公司基于自主创新的时间分辨光谱技术,致力于推动光谱技术在科研和工业领域的深入应用。在科研仪器领域,创锐光谱由一线专家带队,是目前国内极少具备瞬态光谱独立研发-生产-应用完整能力体系的团队。创锐光谱以时间分辨光谱核心技术,超快瞬态吸收光谱系统为核心产品,打破进口垄断格局。主要产品包括瞬态吸收光谱系统、共聚焦荧光成像系统、DPSS纳秒激光器及高速探测器。在工业半导体检测领域,公司以光谱技术创新为核心立足点,已迅速完成碳化硅衬底、外延、氮化镓、钙钛矿电池等多领域布局。
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