傅里叶变换红外光谱分析仪，MG6030

MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪是以傅里叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控，气体纯度和组成分析，环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪能分析含有高达40%水的气流，能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱，故省出了气体筒的成本。另外，操作者也会发现MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪操作简便，易于维护。

MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪由2102傅里叶变换红外制成分光计，高光通量取样单元，专业分析软件及独立的定量光谱库组成。MG 6030收集高分辨率的红外光谱与定量光谱库分析，提供绝大多数气体及水蒸气的高精度，高灵敏度测量。

特点和优点：

●10ppb~100%灵敏度对于绝大多数有毒有害气体

●易于移动从一处移到另一处，设置仅需几分钟

●同时分析和显示多达30种气体

●分析仪储存了校准光谱，省去了气体筒的成本

●取样气体在进入分析室前加热并维持恒定温度

●线性检测器，确保所有分析仪维持在相同的校准条件下

●频率和分辨率诊断，确保校准恒定

●提供自动温度和压力补偿以确保分析精度

●用户操作简便软件界面，稍加培训即可操作

分析仪主机

测试技术                         傅里叶变换红外光谱

可测试气体或水蒸气        绝大多数分子除了氮气，氧气和氢气

范围                                浓度从10ppb到100%

傅里叶变换红外               2102制成傅里叶变换红外

光谱分辨率                      0.5 - 128cm-1

扫描速度                         每秒5次在0.5cm-1

扫描时间                         1 – 300秒

红外源                            碳化硅在1200℃

参考激光                         氦氖（15798.2cm-1）

检测器                            液氮冷却MCT或半导体制冷冷却MCT（汞-镉-碲化物）

清洁(Purge)压力             最大20PSI(1.5bar)

光谱室Purge流量            0.2升/分，干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳的干燥空气

光学系统Purge流量         0.2升/分，干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳的干燥空气

压力传感器                     MKS Baratron 电容式薄膜压力传感器

Purge连接                      Swagelok 快速接头

电脑要求                        台式或笔记本电脑带Intel奔腾 处理器,微软Wingdows； XP操作系统，1024 X 768显示

通讯口                           RJ-45交叉以太网

输出选件                        XML，模拟，AK，其他

尺寸                              445mm宽 *318mm高 * 648mm深

安装                              可安装于19英寸标准机柜

电源                              110V或220V，50/60hz，3A

重量                              50公斤

分析仪采样参数

采样温度                 室温至200℃（取决于校准温度）

采样速流                 0.2 – 10升/分

采样压力                 0.01 – 4大气压（取决于校准压力）

结构                        镀镍铝，或316不锈钢焊接选件

接头                        Swagelok或VCR

采样压力                 1个大气压（取决于校准压力）

管道                        加热不锈钢

窗口                        KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可选)

“O”型密封圈        Viton(其他可选)

检测极限

5.11米气室，MCT检测器在0.5cm-1分辨率下，下列典型气体检测数据为：