超环面光栅单色器，采用像差校正超环面光栅进行衍射分光，可以在较宽光谱范围内保证高的光谱分辨和光通量。 通过选配不同的光栅型号，可以实现10-300nm范围的光谱覆盖。超环面光栅单色器可应用于强场与高能量密度物理、半导体与集成电路制造、探测器&光源计量级标定和极紫外反射率研究。

主要参数：

● 波⻓范围：10~300nm

● 低像散

● ⾼真空兼容，10-4 Pa，超⾼真空可定制，10-7 Pa

● 具有5μm~300μm在线连续可调狭缝

● 单光学元件设计，结构简单，效率⾼

● 具备远程激光快速瞄准定位功能

● 光谱分辨率：0.1nm@37.93nm，可根据需求优化

选配范围：

测试数据：

应用领域：